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专利名称: 利用蒸镀法在光阻掩膜衬底上制备超导钛薄膜的方法
专利类别:
申请号: 201710405813.2
申请日期: 2017-5-31
专利号:
第一发明人: 王争
其它发明人: 王争; 张文; 缪巍; 史生才
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
其它备注: