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高真空超导薄膜沉积设备

规格型号:

FU-12PEB-UHV

主要技术指标:

1.镀膜腔极限压强≤8x10-9Torr;

2.电子枪源功率10kW;

3.可装载6英寸直径基片;

4.配备载入腔。

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